设备类型:在线全自动3D SPI特 性:3D高精度轮廓测量技术应用适用基板:50mm x 70mm - 510mm x 460mm基板厚度:0.6mm - 6.0mm 分辨率:10μm - 15μm (可调)高度测量精度:1μm外形尺寸:W1080 x D1300 x H1850(mm)重量:740KGMirage-D:全自动在线双轨3D SPI外形尺寸:W1160 x D1470 x H1875(mm)