特点和优势100级洁净室标准经过第三方认证不锈钢外壳上的钝化表面处理方便清理高灵活性电缆包裹在洁净室认证的外壳内，把微粒和排气降低软件控制的特性可以提高良率，减少人为干扰灵活的加热区数量以及可选的过程控制加热（CpH）使工艺时间减小可以选配薄膜框架和裸晶圆运输装置，用于集成材料装卸功能。
